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Completed Bachelor (B) / Master (M) / Diploma (D) theses

2019

 

Leon Starz B

Reaktives Ionenätzen von Silizium-Wellenleiterstrukturen

Reactive Ion Etching of Si waveguide structures

 

2018

 

Oliver Sefrin B

Strukturierung Al-bedampfter Glas-, Saphir- und Quarzwafer mittels DUV-
und UV-Lithographie
Structuring of Al-coated glass, sapphire and quartz wafers using DUV and
UV lithography

 

2017

 

Michael Raumer M Zum Herstellungsprozess von nanostrukturierten Fe/Pb-Punktkontakten
(Processing nanostructured Fe/Pb point contacts)
Katharina Goth B Untersuchung des Schutzlacks Electra 92 zur
Strukturierung eines PMMA-Doppellacksystems mittels
Elektronenstrahllithographie auf Glas
Michael Hauck B Zur Herstellung von Sub-100nm-Strukturen in CSAR62
mittels Elektronenstrahllithografie
Hella Müller B Untersuchung der Beständigkeit von CSAR62 in Ätzverfahren
Investigation of the persistence of CSAR62 in etching processes
Marius Sulzer B Prozessierung und Strukturierung von Saphirmasken für DUV-Lithographie
Processing and structuring of sapphire masks for DUV lithography

 

 

2016

 

Felix Ernst B Untersuchung der Belichtungs- und Entwicklungsparameter des Fotolacks mr-PosEBR-0.1XP
David Wander B Untersuchung der Temperaturabhängigkeit der Entwicklung
von CSAR62

 

2015

 

Wladimir Gall D Spezifischer Widerstand von mikrostrukturierten dünnen Eisen- und Nickelchrom-Schichten bei tiefen Temperaturen
B. H. B Strukturierung eines PMMA/HSQ Doppellacksystems auf Aluminium
Moritz Berner B Test von Trockenätzverfahren zum Ätzen von ITO-Oberflächen
Antonia Eckert M Optimierung des Herstellungsprozesses von Nano-Löchern in Si_3N_4-Membranen
Michael Rausch B Reaktives Ionenätzen von Glas unter Verwendung von CHF_3-Plasma

 

 

2014

 

Tobias Buehler B Optimierung der Prozess-Parameter des Bi-Layer Lacksystems  LOR/PMMA für Elektronenstrahllithographie
Eric Reutter B Strukturierung funktionaler TiO2/Au-Oberflächen mittels Elektronenstrahllithographie

 

 

2013

 

S. B. B Herstellung und Test von Overlaymarken für die Elektronenstrahllithografie
C. D. D Strukturierung von Gitterstrukturen für SERS-Substrate
N. G. D Untersuchung des Einflusses der Kontaktgeometrie nanostrukturierter Pb/Fe-Punktkontakte auf deren Eigenschaften
M. R. B Entwicklung einer Ätzprozesses zum Ätzen von AlN-Strukturen
Andreas Vetter B

Untersuchung verschiedener Lacksysteme zur Optimierung von Lift-off-Prozessen mittels optischer Lithografie

 

2012

 

Lukas Grünhaupt B Entwicklung eines HBr-Plasma-Ätzprozesses für die Herstellung von SOI-Strukturen

 

2011

 

J. G. D Herstellung, Charakterisierung und elektronische Transporteigenschaften nanostrukturierter Pb/Fe-Punktkontakte