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Completed Bachelor (B) / Master (M) / Diploma (D) theses

2017

 

Katharina Goth
B Untersuchung des Schutzlacks Electra 92 zur
Strukturierung eines PMMA-Doppellacksystems mittels
Elektronenstrahllithographie auf Glas
Michael Hauck  B Zur Herstellung von Sub-100nm-Strukturen in CSAR62
mittels Elektronenstrahllithografie

 

2016

 

Felix Ernst
B Untersuchung der Belichtungs- und Entwicklungsparameter des Fotolacks mr-PosEBR-0.1XP
David Wander
B Untersuchung der Temperaturabhängigkeit der Entwicklung
von CSAR62

 

2015

 

Wladimir Gall
D Spezifischer Widerstand von mikrostrukturierten dünnen Eisen- und Nickelchrom-Schichten bei tiefen Temperaturen
B. H.
B Strukturierung eines PMMA/HSQ Doppellacksystems auf Aluminium
Moritz Berner
B Test von Trockenätzverfahren zum Ätzen von ITO-Oberflächen
Antonia Eckert
M Optimierung des Herstellungsprozesses von Nano-Löchern in Si_3N_4-Membranen
Michael Rausch
B Reaktives Ionenätzen von Glas unter Verwendung von CHF_3-Plasma

 

2014

 

Tobias Buehler
B Optimierung der Prozess-Parameter des Bi-Layer Lacksystems  LOR/PMMA für Elektronenstrahllithographie
Eric Reutter
B Strukturierung funktionaler TiO2/Au-Oberflächen mittels Elektronenstrahllithographie

 

2013

 

S. B.
B Herstellung und Test von Overlaymarken für die Elektronenstrahllithografie
C. D.
D Strukturierung von Gitterstrukturen für SERS-Substrate
N. G.
D Untersuchung des Einflusses der Kontaktgeometrie nanostrukturierter Pb/Fe-Punktkontakte auf deren Eigenschaften
M. R.
B Entwicklung einer Ätzprozesses zum Ätzen von AlN-Strukturen
Andreas Vetter
B

Untersuchung verschiedener Lacksysteme zur Optimierung von Lift-off-Prozessen mittels optischer Lithografie

 

2012

 

Lukas Grünhaupt
B Entwicklung eines HBr-Plasma-Ätzprozesses für die Herstellung von SOI-Strukturen

 

2011

 

J. G.
D Herstellung, Charakterisierung und elektronische Transporteigenschaften nanostrukturierter Pb/Fe-Punktkontakte