Flinkes Fertigungsverfahren für Photonische 3-D-Kristalle
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Source:
KIT, Abt. Presse, Kosta Schinarakis
- Date: 5.10.2012
Flinkes Fertigungsverfahren für Photonische 3-D-Kristalle
3-D-Strukturen aus 2-D-Schabole erzeugt
Ein in Karlsruhe von der Forschungsgruppe um Professor Martin Wegener mitentwickeltes neues Verfahren (SPRIE - Sequential Passivation and Reactive Ion Etching) ermöglicht es, innerhalb von wenigen Minuten einen regelmäßig mikrostrukturierten photonischen 3-D-Kristall zu erzeugen. Kreativ werden bewährte und innovative Fertigungsverfahren wie Ätzen und Selbstorganisation kombiniert.
